美國霍尼韋爾Honeywell氣流傳感器行業(yè)標準

含*微結(jié)構(gòu)技術(shù)，對空氣或其他氣體的流量、數(shù)量/方向提供敏感和快速回應(yīng)。

所有氣體質(zhì)量流量傳感器均通過熱交換運行——流動和壓差。硅芯片設(shè)計源自薄膜、隔熱橋結(jié)構(gòu)，包含加熱和熱敏組件。這可以對空氣或氣體流量和方向作出快速響應(yīng)，提供相應(yīng)的輸出電壓。放大型能提供更強的輸出信號和更少的外部電路，而未放大型可選擇更多的外部電路。

霍尼韋爾提供：

*的芯片設(shè)計、制造工藝和微結(jié)構(gòu)技術(shù)

加快響應(yīng)時間并實現(xiàn)更低的功耗

多種端口類型，提供更高的應(yīng)用靈活性

霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為滿量程流量范圍及溫度補償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。

Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。

10 SLPM 至 300 SLPM

標準流量范圍為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范圍供您選擇。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進行全面的校準和溫度補償。

大于 10 SLPM 的 HAF 系列在經(jīng)校準的 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍內(nèi)進行補償?；?ASIC 的補償能實現(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應(yīng)時間。

±50 SCCM 至 ±750 SCCM

標準流量范圍可在 ±50、±100、±200、±400 或 ±750 SCCM 下使用。還提供自定義流量范圍。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進行全面的校準和溫度補償。

HAF HAF 系列可以對0°C 至50 °C [32°F 至 122°F] 的溫度范圍做出補償，并且可以在 -20C 至70°C [-4°F 至 158°F] 的溫度范圍中工作。基于 ASIC 的補償能實現(xiàn)數(shù)字 (I2C) 輸出和 1 ms 的響應(yīng)時間。

這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計的氣流通道內(nèi)，提供對于流量的可重復響應(yīng)。

Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強的可靠性、高準確度、可重復測量等性能，并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應(yīng)用要求。堅固外殼和穩(wěn)定基底相結(jié)合使得這些產(chǎn)品極其堅固耐用。它們的設(shè)計與制造符合 ISO 9001 標準。

放大氣體質(zhì)量流量傳感器

HAF 系列 - 高流量

補償式。±50 SCCM 至 ±750 SCCM - 模擬或數(shù)字輸出。10 SLPM 至 300 SLPM - 數(shù)字輸出